
| Grating Pitch | 20 emh |
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| Ékspansi termal | 10,6 x 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Resolusi | 0,5-1-5μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Repeatability | ± 1 nambahan | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Max Speed m / mnt | 60 (5μm); 20 (1μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Jenis kaluaran | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Akselerasi Max | 20m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Panyalindungan | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Sasayogian tanaga | 60mA Max | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Pindah fase | 90 ± 5 ° listrik | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Suhu operasi | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Suhu neundeun | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Kalembaban | 100% teu condensed |